計(jì)算機(jī)控制大氣等離子體光學(xué)加工方法研究.pdf

1、伴隨空間光學(xué)的快速發(fā)展，非球面光學(xué)元件以其優(yōu)越的光學(xué)性能、緊湊的結(jié)構(gòu)等特點(diǎn)正越來越多的廣泛應(yīng)用于現(xiàn)代科技領(lǐng)域，要求必須尋找一種能夠?qū)崿F(xiàn)快速、批量生產(chǎn)非球面的制造技術(shù)。與此同時(shí)，現(xiàn)代微電子技術(shù)和光學(xué)技術(shù)的發(fā)展對光學(xué)元件質(zhì)量提出了越來越高的要求；光學(xué)元件為了獲取極高的反射度值，要求表面粗糙度低于納米級別。傳統(tǒng)機(jī)械加工方式屬于應(yīng)力加工，會(huì)破壞工件表面晶格完整性并引入殘余應(yīng)力，難以滿足超光滑表面的需求。CNC數(shù)控技術(shù)己經(jīng)能夠?qū)崿F(xiàn)光學(xué)非球面元件的

2、精密快速銑磨成型，然而，非球面拋光仍是影響非球面加工效率和精度的主要因素。
　　基于上述原因，提出了一種新型非球面加工方法——基于計(jì)算機(jī)控制光學(xué)成形的大氣等離子體加工技術(shù)，取代現(xiàn)有拋光方法進(jìn)行快速、高效、無表層損傷的非球面加工。結(jié)合計(jì)算機(jī)控制光學(xué)表面成形技術(shù)和大氣等離子體化學(xué)加工方法，進(jìn)行了相關(guān)的試驗(yàn)研究：運(yùn)用經(jīng)典 Preston的拋光原理，對等離子體炬的工作方式和參數(shù)進(jìn)行改進(jìn)和優(yōu)化，以改善其拋光精度和效率，并獲得了更優(yōu)的特征去除