立式化學(xué)氣相沉積石英玻璃工藝的熱特性分析.pdf

1、化學(xué)氣相沉積(CVD)是生產(chǎn)石英玻璃的重要工藝,通過(guò)四氯化硅在氫氧焰中高溫水解在沉積面沉積得到的石英玻璃具有尺寸大、性能好、純度高、成本低等優(yōu)勢(shì),但是由于生產(chǎn)工藝的限制,石英玻璃產(chǎn)品也有若干種類的缺陷。如何盡量減少缺陷,優(yōu)化性能,并且進(jìn)一步降低運(yùn)行成本,提高石英玻璃的沉積速率,是本文的主要研究?jī)?nèi)容。本文針對(duì)四氯化硅在氫氧焰中水解的立式CVD生產(chǎn)石英玻璃的工藝,借助Fluent軟件進(jìn)行模擬分析,綜合考慮了多步化學(xué)反應(yīng),湍流,傳質(zhì),包括導(dǎo)熱

2、、對(duì)流、輻射和相變?cè)趦?nèi)的傳熱等過(guò)程,并針對(duì)該工藝生產(chǎn)的石英玻璃主要缺陷類型提出了若干改進(jìn)方案。
　　在石英玻璃沉積過(guò)程中,沉積面的溫度分布是影響沉積效果的重要因素。沉積面溫度高,則有利于生產(chǎn)出大尺寸的石英玻璃柱體,沉積面溫度均勻,溫度梯度小,則容易生產(chǎn)出性能優(yōu)良的石英玻璃。同時(shí),爐內(nèi)流場(chǎng)和溫度場(chǎng)的情況也是重點(diǎn)考察的指標(biāo)。為了減輕排廢管路的熱負(fù)荷,也對(duì)排廢口參數(shù)做了考察。在現(xiàn)有生產(chǎn)工藝的基礎(chǔ)上,本文通過(guò)修改入口和出口參數(shù)提出了若干改