三維互連電容提取算法研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、在集成電路的設(shè)計過程當(dāng)中，精確的電磁參數(shù)提取對電路設(shè)計具有至關(guān)重要的意義，而在這些電磁參數(shù)里電容參數(shù)尤為重要。電容提取的邊界元法由于具有精度高、變量少、處理復(fù)雜邊界能力強等優(yōu)點而得到了廣泛的應(yīng)用。 隨著半導(dǎo)體工藝的進(jìn)步，芯片集成度和運算速度的提高，互連寄生效應(yīng)的影響也日益明顯?，F(xiàn)有的電容提取軟件已經(jīng)不能滿足實際工程的需要，迫切需要研制出新的高精度、高效率的電容提取算法，或者是現(xiàn)有算法的聯(lián)合。 本文采用間接邊界元法和多極加

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