大行程宏微驅(qū)動(dòng)超精密進(jìn)給系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與研究.pdf

1、隨著信息技術(shù)、生物技術(shù)、超精密加工技術(shù)的發(fā)展,對其所需的加工設(shè)備也提出更高的要求。宏微驅(qū)動(dòng)超精密進(jìn)給系統(tǒng)逐漸成為研究的新趨勢,尤其在對加工精度要求高、行程要求大的加工領(lǐng)域,宏微驅(qū)動(dòng)進(jìn)給系統(tǒng)體現(xiàn)出其獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)。因此大行程宏微驅(qū)動(dòng)進(jìn)給系統(tǒng)的研究為解決當(dāng)今精密、超精密加工提供了切實(shí)可行的解決方案。本文通過對國內(nèi)外的宏微驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的研究現(xiàn)狀的分析,提出了一種雙層的宏微驅(qū)動(dòng)超精密進(jìn)給系統(tǒng)。在確定整體結(jié)構(gòu)方案的基礎(chǔ)上,首先進(jìn)行了微進(jìn)給機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)。通過

2、對微進(jìn)給機(jī)構(gòu)的傳動(dòng)和導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的研究和分析后,根據(jù)彈性鉸鏈的結(jié)構(gòu)特性確定了微進(jìn)給機(jī)構(gòu)的傳動(dòng)和導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的布局,進(jìn)而進(jìn)行了彈性鉸鏈具體參數(shù)的設(shè)計(jì)和分析,并對設(shè)計(jì)的微進(jìn)給機(jī)構(gòu)進(jìn)行了應(yīng)力應(yīng)變仿真分析。本文根據(jù)宏微驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的實(shí)際工作狀況,設(shè)計(jì)了全載荷微進(jìn)給平臺(tái)。在總結(jié)已設(shè)計(jì)的彈性鉸鏈機(jī)構(gòu)的基礎(chǔ)上,對彈性鉸鏈的設(shè)計(jì)進(jìn)行了優(yōu)化,并提出了全載荷微進(jìn)給機(jī)構(gòu)的傳動(dòng)導(dǎo)向布局,并且根據(jù)實(shí)際工作中的受載荷狀況進(jìn)行了仿真分析。本文最后完成了宏微驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的搭建,包括宏