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1、隨著精密機(jī)械加工水平的提高,對(duì)工作臺(tái)定位精度及行程的要求越來(lái)越高。常見(jiàn)工作臺(tái)無(wú)法兼顧大行程及高精度的兩個(gè)指標(biāo)。粗精兩級(jí)驅(qū)動(dòng)工作臺(tái)以激光干涉條紋作為測(cè)量基準(zhǔn),具有較大的測(cè)量量程,并兼具很高的測(cè)量精度和分辨率;以電機(jī)和壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)源來(lái)實(shí)現(xiàn)大量程高分辨率的位移輸出。本文圍繞粗精兩級(jí)驅(qū)動(dòng)工作臺(tái)的定位控制展開(kāi)研究,開(kāi)發(fā)了一款粗精兩級(jí)驅(qū)動(dòng)工作臺(tái)控制系統(tǒng),主要研究工作包括:
1、提出并設(shè)計(jì)了壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電壓誤差放大電路控制直流穩(wěn)壓電源對(duì)
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