高純氮?dú)饧兓に嚰拔⒑哿拷M分分析方法的研究.pdf

1、在半導(dǎo)體工業(yè)生產(chǎn)中，幾乎各個(gè)工序都會(huì)用到超高純氣體，器件的質(zhì)量與超高純氣體的純凈度密切相關(guān)。而高純氮?dú)馐菓?yīng)用最廣泛的高純氣體之一，它主要用于半導(dǎo)體、電子、冶金、化工、熱處理等行業(yè)。近年來，對(duì)高純氮?dú)怏w的純度要求越來越高，如半導(dǎo)體高精尖技術(shù)領(lǐng)域單晶硅的制備要求保護(hù)氣體N2的純度在99．9999%以上，而我國(guó)目前生產(chǎn)的高純N2氣體純度一般為99．999%以下。此外，高純氣體中痕量組分的定值分析方法的欠缺是制約我國(guó)高純氣體進(jìn)一步提高純度的瓶頸

2、。 本文改進(jìn)了高純氮?dú)飧邏杭兓に嚕ㄟ^催化吸附的方法對(duì)原料氣進(jìn)行純化，可以純化得到純度在99．9999%以上的高純氮?dú)狻Ｍㄟ^改進(jìn)充氣排，采用先進(jìn)的無(wú)縫焊接技術(shù)，保證了充裝到鋼瓶中的氮?dú)饧兌?，?shí)現(xiàn)了高純氮?dú)獾呐可a(chǎn)。 進(jìn)行了對(duì)高純氣體中的微痕量雜質(zhì)組分分析方法的研究，包括脈沖放電氦電離色譜法測(cè)無(wú)機(jī)氣體、傅立葉紅外光譜法測(cè)定CO和CO2、微量氧及微量水的檢測(cè)方法等。綜合以上分析方法，對(duì)新的純化工藝生產(chǎn)得到的高純氮?dú)膺M(jìn)行了