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文檔簡介
1、光開關(guān)是實(shí)現(xiàn)全光網(wǎng)絡(luò)的關(guān)鍵器件，本文對(duì)MEMS光開關(guān)執(zhí)行器－平行電容板結(jié)構(gòu)進(jìn)行理論研究，建立了靜態(tài)方程，得出了上極板偏轉(zhuǎn)角度與驅(qū)動(dòng)電壓的關(guān)系和驅(qū)動(dòng)電壓與平行電容板結(jié)構(gòu)幾何參數(shù)的關(guān)系。并對(duì)平行電容板結(jié)構(gòu)進(jìn)行了動(dòng)態(tài)分析，導(dǎo)出了響應(yīng)時(shí)間影響因子的計(jì)算公式，分析研究了響應(yīng)時(shí)間的各種影響因素?！ ?將脈沖電壓驅(qū)動(dòng)應(yīng)用于平行電容板結(jié)構(gòu)，用PWM技術(shù)對(duì)脈沖電壓的寬度進(jìn)行調(diào)制，建立了在脈沖電壓驅(qū)動(dòng)下的理論分析模型。理論分析結(jié)果表明：脈沖電壓的調(diào)
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