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文檔簡介
1、MEMS（微機電系統(tǒng)）技術(shù)在引信領(lǐng)域的應(yīng)用，改變了引信設(shè)計者的傳統(tǒng)設(shè)計思想，加速了引信向微型化、智能化、集成化方向的發(fā)展。MEMS引信具有體積小、成本低、可靠性高等諸多優(yōu)點，同時引信有更多的空間容納多傳感器探測電路和主裝藥，提高了彈藥的精確度和殺傷力。本文提出了一種新型的引信用MEMS微執(zhí)行器，重點對蛇形槽、微彈簧和錯位閉鎖機構(gòu)進行了詳細設(shè)計，其中錯位閉鎖機構(gòu)不再依靠構(gòu)件變形就能實現(xiàn)閉鎖功能，提高了引信用MEMS微執(zhí)行器的可靠性。 2、> 本文首先介紹了MEMS技術(shù)及其在軍事和引信領(lǐng)域的應(yīng)用，介紹了幾種典型引信用MEMS微執(zhí)行器的基本構(gòu)成和作用原理，并在此基礎(chǔ)上提出了具有延時功能的引信用MEMS微執(zhí)行器設(shè)計方案，其次對蛇形槽、微彈簧和錯位閉鎖機構(gòu)進行了重點設(shè)計。傳統(tǒng)MEMS閉鎖機構(gòu)通常依靠構(gòu)件的變形完成其閉鎖功能，而本文設(shè)計的錯位閉鎖機構(gòu)僅是簡單的錯位移動不再需要構(gòu)件的變形，從而避免了因構(gòu)件變形不充分造成的閉鎖不可靠問題。通過UV-LIGA工藝和微細電火花工藝的比較
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