基于MEMS技術(shù)的Fabry-Perot腔可調(diào)光學(xué)濾波器研究.pdf_第1頁(yè)
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1、可調(diào)諧光學(xué)濾波器是現(xiàn)代光通信系統(tǒng)和傳感器網(wǎng)絡(luò)的關(guān)鍵器件,利用微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)的法布里-珀羅(Fabry-Perot)腔可調(diào)光學(xué)濾波器以其體積小、性能高、成本低等優(yōu)點(diǎn)成為眾多解決方案中有力的競(jìng)爭(zhēng)者之一.該論文以該類型濾波器為研究對(duì)象,從理論與實(shí)際工藝制備等方面對(duì)其進(jìn)行了探索.論文闡述了F-P干涉儀的一般理論,利用矩陣法計(jì)算了多種的四分之一波堆光學(xué)介質(zhì)薄膜的反射率和反射相移.以此為基礎(chǔ),較為系統(tǒng)地研究了高反射鏡面的反射相移及其色散

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