基于RF-MEMS技術(shù)的X波段可調(diào)濾波器.pdf

1、隨著現(xiàn)代通信技術(shù)的發(fā)展，通信系統(tǒng)對(duì)器件高集成度和小型化的要求越來(lái)越高，傳統(tǒng)的濾波器已經(jīng)不能充分適應(yīng)這個(gè)需求。采用可調(diào)濾波器不但可以降低系統(tǒng)的尺寸，還可以滿足多通信協(xié)議復(fù)用的要求，因此對(duì)可調(diào)濾波器的設(shè)計(jì)近年來(lái)成了研究熱點(diǎn)之一，一些研究人員將射頻微機(jī)電系統(tǒng)(RF-MEMS)引入到了濾波器的設(shè)計(jì)中，研制出了線性度高、插損小并且隔離度高的電調(diào)濾波器。目前，國(guó)內(nèi)對(duì)基于RF-MEMS技術(shù)的可調(diào)濾波器的研究起步不久，對(duì)此類(lèi)濾波器的設(shè)計(jì)方法有詳盡描述的

2、文獻(xiàn)還較為匱乏。
　　本文設(shè)計(jì)的RF-MEMS可調(diào)濾波器采用將MEMS開(kāi)關(guān)網(wǎng)絡(luò)加載在微帶線諧振器終端的方法，通過(guò)改變開(kāi)關(guān)網(wǎng)絡(luò)的等效電容值，從而實(shí)現(xiàn)濾波器的中心頻率可調(diào)。首先用理想可變電容替換MEMS開(kāi)關(guān)網(wǎng)絡(luò)部分，并根據(jù)濾波器的設(shè)計(jì)指標(biāo)要求計(jì)算得到微帶線諧振器的物理參數(shù)以及可變電容的容值，進(jìn)而再根據(jù)得到的容值大小來(lái)設(shè)計(jì)MEMS開(kāi)關(guān)部分的物理結(jié)構(gòu)。為了驗(yàn)證該設(shè)計(jì)方案的有效性，本文設(shè)計(jì)了一個(gè)中心頻率為8.5-10.5GHz，具有四個(gè)可調(diào)

3、狀態(tài)的MEMS濾波器，所采用的調(diào)諧單元是由MAM(金屬-空氣-金屬)電容和MEMS開(kāi)關(guān)構(gòu)成的開(kāi)關(guān)電容網(wǎng)絡(luò)。本文對(duì)可調(diào)濾波器的微帶電路部分和RF-MEMS的開(kāi)關(guān)網(wǎng)絡(luò)部分采取了分離設(shè)計(jì)，并且對(duì)仿真結(jié)果和計(jì)算結(jié)果進(jìn)行了比較，此外還對(duì)開(kāi)關(guān)網(wǎng)絡(luò)的機(jī)電特性進(jìn)行了分析，以此來(lái)檢驗(yàn)所設(shè)計(jì)的開(kāi)關(guān)網(wǎng)絡(luò)是否能正常工作，另外對(duì)開(kāi)關(guān)網(wǎng)絡(luò)的線性度也進(jìn)行了分析和仿真。
　　在確定了開(kāi)關(guān)網(wǎng)絡(luò)的機(jī)電特性滿足設(shè)計(jì)要求之后，對(duì)RF-MEMS可調(diào)濾波器整體的電磁特性進(jìn)行