氧化鈦薄膜的制備工藝及其光電性能研究.pdf

1、微測輻射熱計是一種基于高性能熱敏探測材料的紅外探測器件。目前應用于微測輻射熱計的高性能熱敏探測材料主要是半導體熱敏材料，應用比較廣泛的主要有氧化釩（VOx）和非晶硅（a-Si）。近年來，氧化鈦（TiOx）作為一種新型熱敏材料在紅外器件領域的的應用研究愈發(fā)受到關注和開展，其光電性能和關于紅外器件的應用前景相比于氧化釩（VOx）和非晶硅（a-Si）有著自己獨特的特點。因此，研究氧化鈦熱敏薄膜的制備和光電性能對于非制冷紅外探測器件具有重要的科

2、研和應用意義。
　　本論文基于半導體材料與薄膜理論，介紹了氧化鈦薄膜材料的發(fā)展背景和研究現(xiàn)狀，論述了氧化鈦的結構和性能基礎及其幾種制備工藝，重點研究了氧化鈦薄膜的直流反應磁控濺射制備工藝及薄膜相應的光電性能，并進一步研究了薄膜的退火處理工藝和不同退火條件對薄膜光電性能的影響，最后得到了氧化鈦薄膜一種優(yōu)化的制備工藝并對薄膜進行了光電性能表征，研究和分析了薄膜的膜厚和濺射速率、方阻和電阻溫度系數(shù)（TCR）、透過率和吸收值、光學帶隙、S