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文檔簡介
1、伴隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,器件的制造越來越復(fù)雜,要求元件的尺寸越來越小,隨著納米級器件的出現(xiàn),納米技術(shù)越來越收到了重視。由于過去人們只是關(guān)注納米技術(shù)的實(shí)際應(yīng)用,經(jīng)常會(huì)忽視其內(nèi)部的物理化學(xué)規(guī)律,導(dǎo)致了制造和理論的脫節(jié),所以本文主要是從微流動(dòng)的內(nèi)部機(jī)理上進(jìn)行分析。作為納米機(jī)電技術(shù)(MEMS)的重要組成部分,納米科學(xué)和技術(shù)在納米流動(dòng)的研究過程中發(fā)揮著重要作用。在研究納米流動(dòng)的過程中,由于尺度效應(yīng),納米科學(xué)研究最常用的方法就是數(shù)值模擬法。
2、 本文主要是通過用分子動(dòng)力學(xué)(Molecular dynamics,MD)的方法來研究氮在納米通道內(nèi)微流動(dòng)。考察了氮在庫埃特(Couette)模型和泊肅葉(Poiseuille)中的傳輸?shù)默F(xiàn)象和機(jī)理。主要是就對氮在不同溫度,壁面剪切速度,浸潤系數(shù),和通道寬度條件下,液體的數(shù)密度的影響,并且還進(jìn)行了壁面粗糙度的模擬。研究表明,數(shù)密度在靠近壁面的區(qū)域會(huì)出現(xiàn)震蕩,并且通道的寬度越大,這種震蕩的幅度就越小;靠近壁面液體氮的數(shù)密度隨著浸潤系數(shù)的增
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