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文檔簡介
1、光柵機械刻劃是用金剛石刻劃刀對光柵基底上的金屬膜進行擠壓、拋光,使其發(fā)生形變而形成階梯狀刻槽的過程。針對79g/mm中階梯衍射光柵高精度刻劃的要求,本文以直線刃刻劃刀為切入點,對光柵機械刻劃過程進行深入研究。第一,分析了光柵機械刻劃過程中鍍膜材料的成形過程,并依據(jù)塑性成形理論建立了刻劃深度與光柵槽深之間的數(shù)學(xué)關(guān)系模型;第二,借助有限元手段對79g/mm中階梯衍射光柵刻劃過程進行模擬仿真,分析刀具參數(shù)、安裝參數(shù)等對光柵槽形形狀的影響規(guī)律以
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