微細(xì)加工表面形貌的評(píng)定方法研究及軟件實(shí)現(xiàn).pdf

1、 本文首先分析了表面形貌評(píng)定理論和方法的意義，總結(jié)了表面形貌評(píng)定理論和方法的研究現(xiàn)狀及進(jìn)展，分析了現(xiàn)有的表面形貌評(píng)定國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)及其相關(guān)評(píng)定體系，并針對(duì)二維表面形貌評(píng)定軟件中最重要的問題—輪廓峰谷點(diǎn)的搜索問題，提出了基于有限差分思想的二維輪廓峰谷點(diǎn)搜索算法。在此算法基礎(chǔ)上開發(fā)了相應(yīng)的二維表面形貌評(píng)定軟件，并通過對(duì)大量的實(shí)際采樣數(shù)據(jù)的處理驗(yàn)證了算法的可行性。其次，就三維表面形貌評(píng)定過程中的形貌分離與濾波問題，分析了二維高斯濾波

2、評(píng)定基準(zhǔn)的長(zhǎng)處與不足，并對(duì)二維高斯濾波函數(shù)進(jìn)行了改進(jìn)。運(yùn)用未改進(jìn)函數(shù)和已改進(jìn)函數(shù)對(duì)實(shí)驗(yàn)采樣數(shù)據(jù)進(jìn)行處理。同樣，對(duì)三維領(lǐng)域的高斯濾波函數(shù)，也進(jìn)行了改進(jìn)，并通過實(shí)際采樣數(shù)據(jù)進(jìn)行了驗(yàn)證。最后，介紹了幾種在三維表征中產(chǎn)生基準(zhǔn)面的實(shí)用方法，分析了當(dāng)前國(guó)際上具有代表性的幾種三維表面形貌的表征方法，詳細(xì)介紹了一種新型的數(shù)字圖像處理方法(數(shù)學(xué)形態(tài)學(xué)中的流域分割法)，用該圖像分割法對(duì)微細(xì)加工表面的電子顯微圖片進(jìn)行了處理，并結(jié)合Barre定義的三維Moti