1200V-75A混合PIN-Schottky二極管設計與工藝探索.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、在現(xiàn)代電力電子電路中,對器件尺寸要求越來越小,對工作頻率的要求越來越高,功耗越來越小。因此,對二極管提出了高耐壓、低功耗、快恢復的要求。PIN-肖特基混合二極管(MPS)作為一種新型器件,集成了PIN二極管高耐壓、低通態(tài)壓降、低漏電流的優(yōu)點和肖特基二極管的快恢復的優(yōu)點。而且,由于MPS的自身特性,較容易獲得軟恢復特性。
   本文的目的是設計1200V/75A的MPS結構的二極管,并進行部分工藝探索。首先,從理論上分析了MPS的

2、工作原理,及各個參數(shù)對器件特性的影響。其次,利用ISE-TCAD軟件對MPS的正向電流、反向耐壓、反向漏電流、反向恢復等特性,以及場限環(huán)結構、漂移區(qū)少子壽命和溫度對器件特性的影響進行了模擬。分析了器件特性隨參數(shù)的變化規(guī)律。確定了MPS的結構參數(shù):漂移區(qū)厚度70μm、漂移區(qū)摻雜濃度2×1013cm-3、P+深度10μm、P+區(qū)摻雜濃度5×1019cm-3、肖特基區(qū)寬度30μm,P+區(qū)寬度30μm、N+區(qū)厚度20μm、N+區(qū)摻雜濃度5×10

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