基于機(jī)器視覺的單晶爐提拉裝置擺動量檢測方法研究.pdf

1、軟軸型單晶爐在生長單晶的過程中，如果提拉裝置的擺動量過大，將嚴(yán)重影響單晶的生長質(zhì)量，為了避免單晶爐設(shè)備擺動量過大的問題，在裝配過程中應(yīng)對提拉裝置進(jìn)行檢測，以控制擺動量的大小，提高裝備的質(zhì)量。
　　 本文對單晶爐提拉裝置擺動量的檢測進(jìn)行了研究，提出了基于機(jī)器視覺的擺動量檢測方案。采用了引入徑向畸變和切向畸變的基于OpenCV的攝像機(jī)標(biāo)定方法，保證視覺檢測的精確度。利用相鄰兩幀圖像差分法，HOS分割及形態(tài)學(xué)處理等算法得到物體的運(yùn)動變

2、化區(qū)域；運(yùn)用中值濾波，直方圖均衡化，灰度線性拉伸等算法增強(qiáng)運(yùn)動物體與背景的對比度，進(jìn)行了邊緣檢測；并對運(yùn)動變化區(qū)域和邊緣圖進(jìn)行“與運(yùn)算”處理，采用“貼標(biāo)簽”算法，消除圖像中的噪聲，得到精確的運(yùn)動物體的邊緣，采用最小二乘法擬合形心，完成對運(yùn)動物體的精確定位。提取全部運(yùn)動序列圖像中運(yùn)動物體的形心，得到一個形心點(diǎn)集，求其最小包容圓，則在世界坐標(biāo)系中最小包容圓圓心到擺錘實(shí)際擺動中心的距離與最小包容圓的半徑之和，就是所求的最大擺動量。