基于葵花籽粒結(jié)構(gòu)的仿生拋光墊設(shè)計(jì)制造及拋光液流場的研究.pdf

1、本文在仿生學(xué)的基礎(chǔ)上，提出了一種向日葵籽粒結(jié)構(gòu)的仿生拋光墊，該拋光墊的表面是由相互獨(dú)立的磨料塊組成，并制造出類似于葵花籽粒分布形式的拋光墊。在拋光墊上的溝槽可以提高拋光墊的拋光性能，使拋光液沿著順時(shí)針和逆時(shí)針的葉列線溝槽流動(dòng)，有利于流體向四周發(fā)散和廢屑的排除，同時(shí)也有利于仿生盤由中心向徑向均勻的供給拋光液，使得化學(xué)機(jī)械拋光過程中的化學(xué)作用和機(jī)械作用得到了合理的匹配，解決了化學(xué)機(jī)械拋光中拋光液流場不均帶來的幾何誤差等問題。
　　

2、本文首先介紹了斐波那契數(shù)列在向日葵花盤中的現(xiàn)象，并且闡述了F.R.Yeatts提出了向日葵生長的數(shù)學(xué)模型，利用F.R.Yeatts方程模擬出了不同植物的發(fā)散角，不同的葉序參數(shù)七以及不同的籽粒半徑所對(duì)應(yīng)籽粒的排列方式。根據(jù)模擬結(jié)果利用UG軟件建立了基于葵花籽粒結(jié)構(gòu)的拋光墊的三維模型。
　　 其次提出了固結(jié)磨料仿生拋光墊的制作方法，采用絲網(wǎng)印刷的方法制作固結(jié)磨料仿生拋光墊，介紹了絲網(wǎng)印刷的基本原理，確定絲網(wǎng)印刷過程中的三要素：網(wǎng)版、

3、刮板、網(wǎng)距。給出制備固結(jié)磨料仿生拋光墊的材料和固結(jié)磨料仿生拋光墊的制備流程，得到了固結(jié)磨料仿生拋光墊的實(shí)物。
　　 再次本文介紹了液-固兩相流的基本理論和計(jì)算流體力學(xué)的相關(guān)知識(shí)，對(duì)計(jì)算流體力學(xué)CFD和FLUENT軟件做了簡要的概述。推導(dǎo)出化學(xué)機(jī)械拋光拋光液流場運(yùn)動(dòng)方程，給出了流場的計(jì)算域、網(wǎng)格的劃分及模型的邊界條件，利用流體力學(xué)軟件(FLUENT)對(duì)拋光液的流動(dòng)狀態(tài)進(jìn)行仿真，并獲得了葉序參數(shù)對(duì)拋光液流動(dòng)狀態(tài)的影響規(guī)律。