數(shù)字光刻控制系統(tǒng)的研究與設計.pdf

1、隨著微納技術(shù)（Micro-and Nano-technology）的不斷發(fā)展，以尺寸微小、操作尺寸極小為特征的微納器件己成為人們認識和改造客觀世界的一種高新技術(shù)。由于傳統(tǒng)的微納加工控制技術(shù)面臨著諸多瓶頸問題，諸如制造過程難以有效控制和加工自動化不高制約了微納加工技術(shù)的發(fā)展。而數(shù)字光刻控制系統(tǒng)是一種新型的微納器件加工控制技術(shù)，很好地解決了傳統(tǒng)微納加工系統(tǒng)控制中存在的問題，是二十一世紀里最具潛力的微納加工控制技術(shù)。
　　本文針對數(shù)字光

2、刻加工控制系統(tǒng)中工件臺控制、光源曝光控制、實時調(diào)焦監(jiān)測控制、數(shù)字掩模圖輸出控制的特點，采用計算機接口控制技術(shù)、硬件控制技術(shù)，控制軟件的實現(xiàn)進行了較詳細的討論。研究設計出一套符合數(shù)字光刻加工應用的計算機軟硬件控制系統(tǒng)，以擺脫傳統(tǒng)微納加工的束縛。
　　本論文首先分析了數(shù)字光刻控制系統(tǒng)的特點，從其需求出發(fā)確定了本控制系統(tǒng)的總體框架，然后展開逐項內(nèi)容進行研究。
　　根據(jù)三維精密工件臺的運動特點采用了基于計算機控制技術(shù)。以三維精密控制

3、器為核心，實現(xiàn)了對三維精密工件臺xyz軸的精確運動定位控制。在硬件控制上的創(chuàng)新點是我們實現(xiàn)了對曝光光源曝光精確控制，包括曝光量、曝光時間及實時調(diào)焦控制，從而實現(xiàn)了精密工件臺的運動與曝光控制，實時調(diào)焦的聯(lián)動控制。
　　論文對數(shù)字光刻加工中的微光學器件設計理論進行了詳細分析，利用可視化的Windows和面向?qū)ο蟮某绦蛟O計語VisualC++6.0作為控制系統(tǒng)軟件的開發(fā)平臺，開發(fā)了數(shù)字光刻系統(tǒng)可視化的控制軟件。
　　最后，通過光刻