垂直電導結構非致冷紅外探測器研究.pdf

1、隨著超大規(guī)模集成電路和微電機械加工（MEMS）技術的發(fā)展，紅外探測器技術取得了驚人的進展，非致冷紅外探測器的性能不斷提升，使其在軍事武器和民用領域都呈現(xiàn)出廣闊的應用前景。雖然非致冷紅外探測器價格相對低廉，但是相比制冷型探測器，在探測性能上仍然還有較大的差距，限制了其在高端領域的推廣應用。提高非致冷紅外探測器的探測性能，使之達到背景限探測性能，成為研究者們的追求目標。
　　本論文基于垂直電導原理，提出采用高電阻率高TCR的氧化釩敏感

2、薄膜材料與金屬或導電金屬化合物薄膜組成垂直導電三層紅外探測器結構。開展了如下的工作：
　　(1)根據均勻膜層近似下的多層薄膜電導率和TCR公式，分析了在金屬/半導體/金屬結構中采用高電阻率敏感材料獲得高TCR的可行性；
　　(2)采用傳輸矩陣方法計算了垂直電導三層薄膜結構的紅外吸收特性；通過比較當表面導電層分別采用金屬或類金屬化合物如ITO等材料時導電結構的紅外吸收特性，發(fā)現(xiàn)類金屬化合物的厚度可選范圍大因而更易于制備；另外，