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1、南開(kāi)大學(xué)碩士學(xué)位論文InGaAsGaAs應(yīng)變量子阱固態(tài)源分子束外延生長(zhǎng)的研究姓名:康培申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別:碩士專(zhuān)業(yè):凝聚態(tài)物理指導(dǎo)教師:舒永春201105AbstractAbstractTheOPS—VECSEL(OpticallyPumpedSemiconductorVerticalExternalCavitySurfaceEmissionLaser)isanovelsemiconductorlaserandcanbeappliedinma
2、nyfieldspotentiallyThegrowthofInGaAs/GaAsstrainedquantumwellsasactiveregionofOPSVECSELusingsolidsourcemolecularbeamepitaxywerestudidedinthispaperThemaindevelopmentsandresultsaresummarizedasfollows:1Theinfluenceonusingdif
3、ferentInatomssourogfurnacetogrowInGaAs/GaAsstrainedquantumwellswassmdiedTheanalyzedresultsindicatethatusingtheMuscletypeInatomssourcefurnacetogrowchipcanimprovethequalityofthechip2AVECSELchipwithwavelengthof1064n/nwasgro
4、wnbyMBEResultsofSEM、photoluminescence(PL)andreflectivityofthechipshowtheaccuracyofgrowthTheexperimentalresultsindicate:theoptimizedgrowthconditionarepropitioustosignificantlyimprovetheopticalperformanceofthechipTheoretic
5、alanalysisshowsagoodagre圯rnentwimtheexperimentalresult3GrowthinterruptionWasusedattheinterfacebetweentheInGaAswelllayerandGaAsbarrierlayertoallowtimeforthesubstratetemperaturetobechangedThiswillavoidthethermallagassooate
6、dwimattemptingtochangethesubstratetemperatureasgrowthproceedsGrowthinterruptionWasusedforimprovingthequalityoftheinterfaceCharacterizationofthelayerstructurebyphotoluminescence,showedthenecessityforagrowthinterruption18s
7、ThefunctionofIninterruptionwasanalyzedbycomparingthePLspectraoffoursamplesResultsofphotoluminescenceofthe980nmVECSELchipsshowedthatthechipwimIninterruptioncouldobtainthenarrowerPLspectrumpeakcomparingtotheonewithomIninte
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