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1、在制造業(yè)中,數(shù)控機(jī)床和加工中心作為關(guān)鍵設(shè)備,保證其幾何位置精度是一項(xiàng)非常重要的工作。如果精度出現(xiàn)問(wèn)題,就會(huì)對(duì)產(chǎn)品的質(zhì)量產(chǎn)生致命的影響。傳統(tǒng)的多自由度誤差測(cè)量為雙頻激光干涉法,這種方法在測(cè)量過(guò)程中既費(fèi)時(shí)又費(fèi)力,測(cè)量完成后數(shù)據(jù)處理主要由人工處理這樣在特別容易發(fā)生人為錯(cuò)誤。因此,研究一個(gè)高效集成的多自由度誤差同時(shí)測(cè)量系統(tǒng)是未來(lái)機(jī)床高精度檢測(cè)儀器發(fā)展的趨勢(shì)。
本論文主要工作有:
(1)分析各自由度誤差測(cè)量原理,在已有的激光五
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