MMI-MZI波導結構制造工藝研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、馬赫-澤德結構器件(Mach-ZehnderInterferometer,MZI)在光子集成器件中有著廣泛的用途,可以制備各種基于馬赫-澤德干涉結構的光信號處理器件,如波長轉換器件、波分復用器件、光開光器件等,這些集成器件在光通信網(wǎng)絡系統(tǒng)中發(fā)揮著重要的作用。
　　本論文著重于研究馬赫-澤德器件的波導結構,特別是其中的分束耦合器件以及相移器件,主要工作如下:
　　1.研究了馬赫-澤德結構的基本工作原理及其在光通信系統(tǒng)中的應用,

2、介紹了目前制造馬赫-澤德結構的集成工藝的基本技術方案。
　　2.分析了一般情況下光子集成器件中的波導結構,設計了MMI結構分束/耦合器件以及相位調節(jié)器件。分析了波導中的光場傳輸模式和模場分布,通過對器件結構進行仿真,模擬了不同情況下,器件的制造誤差對傳輸功率的影響,為實際器件的制備提供了指導作用。
　　3.通過微納制造平臺制備了不同尺寸的MMI/Y分支結構器件以及相應的MZI結構波導器件,研究了光刻工藝過程中各個參數(shù)對圖形寬

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