多元多層復合膜的制備及性能研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、西華大學碩士學位論文多元多層復合膜的制備及性能研究姓名：張馨元申請學位級別：碩士專業(yè)：材料加工工程指導教師：趙廣彬201204多元多層復合膜的制備及性能研究AbstractInthispaperitdescribestheprinciple，characteristics，applicationanddevelopmentstatusquoofthemulti—arcionplatingtechnique，andthenreviewes

2、thethinfilmsofTiN，CrN，TiCrNUsingXH800multiarcionplatingequipmentwhichisselfmadetopr印撕ngTiN，CrNandTiN／TiCrN／CrNmultimultilayerfilm(15layers)onYG6carbidesurfaceThestructuremorphologycompositionandthemainperformanceoffilmsw

3、ereexaminedbyXRD、SEM、MicrohardnessTest，StereomicroscopeandScratchTestTheXRDpattemsindicatesthattheTiNfilmtotheTiN(111)crystalplanepreferredorientationandexistenceoftheTiCphaseInCrNfilm，itcontainsCrNandCr2Nphase，andnoelem

4、entalCrphaseTheTiN／TiCrN／CrNmulti—multilayerfilmsexistsTiNandCr2Nphasewiththechromiumtargetcurrentincreaseing，thepreferredorientationofTiNfrom(200)changesinto(111)，andalsoappeareselementalCrTheSEMofmicroscopicobservation

5、showedthatthesurfaceofTiN門riCrN／CrNmultimultilayerfilmshavelesslargeparticlesthanthemonolayertheintroductionofCrimprovedthesurfacequalityofthefilmThefracturemorphologyshowstheTiN爪CrN／CrNmulti—multilayerfilmshavethemulti—

6、layerstructure，anditchangesthecoarsecolumnargraingrowthofthemonolayermakesthefilmafmecolumnargraingrowthThethickestofTiN／TiCfN／CrNmultimultilayerfilmis5021arnthethicknessoffilmareaffectedbythetargetcurrent，depositiontime

7、，biasfactorsandSOonBothmonolayerandmultilayerfilmwhicharedensestructure，aswellashaveagoodcombinationwiththematrixSurfacespectroscopyresultsshowthatthemonolayersurfaceN：TiandN：CratomicpercentageisclosetoI：l，thepresenceofd

8、ropletsandparticlesarethemaincausesofdeviationWhichrelativewithtargetscurrentandbias；theTiN／TiCrN／CrNmultimultilayerfilmsurfacecompositionWhichrelatedwithtitaniumtargetandchromiumtargetcurrentratio，thenumberofdropletsand

9、particlesofthefilmsurfaceimpactedbythechromiumtargetcurrentMicrohardnessandbindingtestshowthatthehardnessoftheTiNmonolayerisabout2000HVthehighestis2156HVthebindingforceisupto50N；thehardnessofCrNmonolayerisupto2595Nandthe

10、bindingforcereachto60NThehardnessoftheTiN用CrN／CrNmultimultilayerfilmsis2000HVabovewhichhighestisupto2336HVthehighestbindingforceis63NThehardnessofTiN伍CIN／Cr】Nmulti—multilayerfilmsisbetweenTiNfilmandCrNfilmComparedtotheTi

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