非連續(xù)平面的平面形狀誤差測量技術(shù).pdf

1、精密測量是工業(yè)精密加工的重要環(huán)節(jié)之一,一個工件在精加工前后都要進(jìn)行其形狀的精密測量以便于指導(dǎo)加工和評定工件是否符合加工要求。在大型裝備制造業(yè)當(dāng)中,經(jīng)常出現(xiàn)要求高精度加工的情況,需要進(jìn)行高精度測量的大平面,而現(xiàn)有的平面形狀誤差在線測量系統(tǒng)和方法只適合于測量連續(xù)矩形平面,對于工業(yè)生產(chǎn)中經(jīng)常出現(xiàn)的非連續(xù)平面,其平面形狀誤差在線測量目前尚無有效方法。
　　 為了實現(xiàn)非連續(xù)平面的平面形狀誤差測量,本文建立了一套平面形狀誤差在線測量系統(tǒng)和方

2、法,該系統(tǒng)使用電渦流傳感器作為距離傳感器,以基于數(shù)字信號處理器的電路作為數(shù)據(jù)采集系統(tǒng),運用工業(yè)平板電腦實現(xiàn)誤差分離、評定等數(shù)據(jù)處理;測量方法則在時域最小二乘逐次兩點法基礎(chǔ)上,提出了自適應(yīng)誤差分離矩陣技術(shù),該技術(shù)根據(jù)測量數(shù)據(jù)調(diào)整時域最小二乘逐次兩點法中的誤差分離矩陣,使最小二乘逐次兩點法能夠用于非連續(xù)平面的平面形狀誤差在線測量,這種最小二乘逐次兩點法稱為自適應(yīng)矩陣時域最小二乘逐次兩點法。探索了基于不規(guī)則頻域四點法的頻域非連續(xù)誤差分離算法。

3、通過使用自適應(yīng)矩陣時域最小二乘逐次兩點法,本文實現(xiàn)了對非連續(xù)平面進(jìn)行平面形狀誤差測量,解決了時域最小二乘逐次兩點法只能對矩形被測面進(jìn)行測量的缺點。
　　 通過在實際工作環(huán)境下,使用本文所述的非連續(xù)平面的平面度誤差測量系統(tǒng)對連續(xù)平面的平面形狀誤差進(jìn)行測量實驗,由實驗結(jié)果可知系統(tǒng)精度良好;使用自適應(yīng)矩陣時域最小二乘逐次兩點法對網(wǎng)格數(shù)10乘9的非連續(xù)平面模擬采樣數(shù)據(jù)進(jìn)行誤差分離實驗,將得到的誤差分離結(jié)果與標(biāo)準(zhǔn)的時域兩點法的誤差分離結(jié)果