大功率勵(lì)磁電源控制系統(tǒng)的研究.pdf

1、本文主要研究單晶爐勾形磁場及其勵(lì)磁電源的設(shè)計(jì)。采用有限元對(duì)8英寸單晶爐勾形磁場進(jìn)行建模、仿真，對(duì)勾形磁場的磁場強(qiáng)度、磁場分布以及影響磁場強(qiáng)度的線圈電流、線圈間距進(jìn)行了分析和優(yōu)化，得到磁場結(jié)構(gòu)的優(yōu)化設(shè)計(jì)參數(shù)。最后對(duì)磁場的優(yōu)化設(shè)計(jì)參數(shù)進(jìn)行了仿真驗(yàn)證，結(jié)果表明：該優(yōu)化設(shè)計(jì)參數(shù)滿足晶體生長過程中對(duì)磁場提出的要求。
　　 本文在移相全橋變換器主電路的基礎(chǔ)上，以TI公司的TMS320F2808DSP為核心控制芯片，設(shè)計(jì)了大功率勵(lì)磁電源的數(shù)字

2、控制系統(tǒng)。采用狀態(tài)空間平均法建立了勵(lì)磁電源系統(tǒng)的數(shù)學(xué)模型，設(shè)計(jì)了其電流閉環(huán)控制的PI參數(shù)。在此基礎(chǔ)上，采用DSP控制技術(shù)，設(shè)計(jì)了勵(lì)磁電源的外圍控制系統(tǒng)，包括采樣電路、IGBT驅(qū)動(dòng)電路、開關(guān)量輸入輸出電路、數(shù)碼顯示電路、串口和CAN通信電路，軟件設(shè)計(jì)包括閉環(huán)、繼電邏輯、移相脈沖、濾波算法、數(shù)碼顯示和CAN通訊等。此外，還設(shè)計(jì)了上位機(jī)監(jiān)控系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制、顯示、歷史數(shù)據(jù)保存、報(bào)警日志等，方便用戶進(jìn)行操作。
　　 采用MATLAB/