基于固相反應的半固著磨具及其對藍寶石拋光的探索研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、為解決藍寶石基片在研磨拋光過程中，表面容易產(chǎn)生劃痕、裂紋、亞表面損傷、去除率低等問題，本文基于固相反應的半固著軟質(zhì)磨粒加工技術，研發(fā)了一種具有優(yōu)良拋光性能的半固著磨具，研究其關鍵制作技術，檢測半固著磨具機械性能。最后通過藍寶石拋光實驗測試半固著磨具加工性能。本文主要研究工作包括:
　　研究了基于固相反應的半固著磨具加工機理，分析了藍寶石晶片發(fā)生固相反應的條件及影響因素。根據(jù)化學熱力學原理，利用HSC Chemistry軟件仿真驗證

2、SiO2、CeO2磨粒與藍寶石晶片發(fā)生固相反應的可能性。
　　研究了半固著磨具的制作工藝及磨具質(zhì)量影響因素。根據(jù)半固著磨具的技術指標，選擇制作磨具的原材料:兩種不同的磨粒(SiO2和CeO2)，結合劑及造孔劑等。以磨具硬度為目標函數(shù)，采用回歸法設計磨具配比。對磨具的原材料混和、固定成型、干燥硬化及表面修整等工藝進行分析研究，制作出符合要求的半固著磨具。分析了半固著磨具的制作流程及影響磨具質(zhì)量的關鍵因素。
　　檢測了兩組半固著

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