基于CPLD的表面形貌測量控制系統(tǒng)研制.pdf

1、表面形貌測量控制系統(tǒng)是表面形貌測量儀器的重要組成部分，負責(zé)儀器測量控制、數(shù)據(jù)采集以及數(shù)據(jù)分析。本文從工程實際出發(fā)，利用CPLD平臺對表面形貌測量控制系統(tǒng)進行實現(xiàn)，既解決了原有測量控制系統(tǒng)中的問題，還滿足了測量控制系統(tǒng)的低成本、高性能、實時化設(shè)計要求。具體包括以下工作：
　　（1）對表面形貌測量控制系統(tǒng)功能進行分析，并根據(jù)需求設(shè)計系統(tǒng)硬件，包括CPLD主控電路和電源電路2部分，最后對電路系統(tǒng)進行抗干擾分析。
　　（2）先后進行

2、了CPLD軟件設(shè)計部分、PCI驅(qū)動設(shè)計和測量軟件設(shè)計，并對CPLD軟件模塊、PCI驅(qū)動程序進行軟件仿真調(diào)試，初步驗證測量控制系統(tǒng)的可靠性。
　?。?）對測量控制系統(tǒng)進行實驗驗證，進行表面形貌測量實驗和表面輪廓測量實驗，并給出了測量結(jié)果，驗證系統(tǒng)的可靠性。
　　本文利用CPLD平臺對表面形貌測量系統(tǒng)進行集成化設(shè)計，既滿足了所有測量控制功能，還提高了系統(tǒng)穩(wěn)定性，降低了成本，同時通過對PCI驅(qū)動和測量軟件的優(yōu)化設(shè)計，改變了原有測量