鋯酸鉛薄膜電容器的儲能行為及其應用研究.pdf

1、反鐵電材料由于其在現(xiàn)代高新技術(shù)中起著越來越重要的作用而成為國內(nèi)外研究的熱點，而具有復合鈣鈦礦結(jié)構(gòu)的PbZrO3基反鐵電材料是一類最有發(fā)展?jié)摿Φ姆磋F電材料。其中，摻雜離子的PbZrO3基反鐵電薄膜電容的制備工藝及其儲能性能，具有重要的理論意義和應用價值。
　　本論文采用化學溶液沉積法(CSD)結(jié)合快速熱處理工藝(RTA)制備鋯酸鉛(PbZrO3,PZO)基反鐵電薄膜，研究了這類薄膜材料的摻雜改性、相變、反鐵電、介電、儲能等性能。

2、r>　　采用化學溶液沉積法結(jié)合快速熱處理工藝在Pt/Ti/SiO2/Si襯底上制備了不同Pr3+離子含量Pb1-1.5xPrxZrO3(PPrZ)薄膜，研究了Pr3+離子含量對薄膜形貌結(jié)構(gòu)、能量存儲和介電性質(zhì)的影響。經(jīng)過600℃快速熱處理后的PPrZ薄膜呈偽立方相鈣鈦礦結(jié)構(gòu)，PPrZ薄膜表面致密，無裂紋。不同濃度的Pr3+離子的摻雜對PbZrO3反鐵電薄膜的電學性能影響巨大，通過改變離子濃度可以得到不同儲電性能的鋯酸鉛薄膜樣品。研究表明

3、，適量Pr3+離子的摻雜可以有效增強PbZrO3反鐵電薄膜的電學性能。
　　論文最后主要分析了新型儲能電容器在高密度儲能電容器領(lǐng)域在軍事方面、混合動力車輛、生物醫(yī)學、物聯(lián)網(wǎng)底層傳感網(wǎng)節(jié)點上潛在的應用。重點介紹了PbZrO3反鐵電薄膜電容器在為物聯(lián)網(wǎng)底層傳感網(wǎng)節(jié)點供電上的應用。
　　論文結(jié)尾對全文進行總結(jié)，并對進一步實驗提出改進方案。本論文研究工作還有很大的改進空間，可以通過改變實驗條件，得到性能更優(yōu)的鋯酸鉛反鐵電薄膜電容器。