鋯酸鉛基反鐵電薄膜的制備與儲能性能研究.pdf

1、脈沖高功率技術是當今高新技術的重要發(fā)展方向，儲能電容器作為脈沖高功率電源的關鍵元件，在整個設備中占有很大的比重，是極為重要的關鍵部件。反鐵電材料因具有很高的理論儲能密度，特別適合用于制作脈沖高功率儲能電容器，近年來引起了研究者的關注。PbZrO3(PZ)是一種典型的鈣鈦礦反鐵電材料，是最有前景的脈沖高功率電源用新型反鐵電儲能介質材料。但是，目前實驗制備的PZ反鐵電薄膜的能量存儲密度較低，不能滿足實際應用。因此，進一步提高PZ反鐵電薄膜的

2、能量存儲密度是實現(xiàn)其在脈沖高功率電源的應用的首要任務。本論文圍繞改進PZ反鐵電薄膜的儲能性能來展開研究工作。主要研究工作與結果如下：
　　1.單一PZ反鐵電薄膜的制備及儲能性能分析
　　采用溶膠-凝膠法在Pt(111)/Ti/SiO2/Si襯底上制備了PZ反鐵電薄膜，探索了薄膜生長的最佳退火溫度和退火時間，并表征了其微觀結構和電學性能。實驗結果表明，在700℃下退火20min時，PZ薄膜性能最好，在最大500kV/cm外加電

3、場下，其最大極化強度(Pmax)和最大儲能密度分別為70.3μC/cm2和13.52J/cm3。
　　2.不同結構的PZ/BT-BMT復合薄膜的制備及儲能性能分析
　　將PZ反鐵電薄膜和具有高介電常數、高耐電場擊穿強度的0.88BaTiO3-0.12Bi(Mg0.5,Ti0.5)O3(BT-BMT)鐵電薄膜結合在一起形成不同結構的復合薄膜，分別研究了疊層結構、夾心結構、交錯結構復合薄膜的微結構及電學性能。對于疊層結構復合薄膜

4、，最大電場下的Pmax為90.9μC/cm2，最大儲能密度為15.3J/cm3；對于夾心結構復合薄膜，最大電場下的Pmax為92.2μC/cm2，最大儲能密度為19.9J/cm3；對于交錯結構復合薄膜，最大電場下的Pmax為95.7μC/cm2，最大儲能密度為24.7J/cm3。以上結果表明，采用與BT-BMT鐵電薄膜復合的方法能有效提高PZ反鐵電薄膜的儲能密度。
　　3.PZ/BT-BMT復合薄膜退火工藝的改進及儲能性能分析