空間光調(diào)制法抑制相干成像系統(tǒng)中相干噪聲技術(shù)的研究.pdf

1、光干涉檢測(cè)技術(shù)是光學(xué)元件高精度加工檢測(cè)過程中的必要環(huán)節(jié)，對(duì)于光學(xué)元件質(zhì)量判定起到終檢決定性作用。商用干涉儀中大多數(shù)采用相干性好的激光作為光源以此獲得較大的相干長度。這種選擇大大降低了干涉檢測(cè)過程中的裝調(diào)難度。然而，不利因素是光學(xué)系統(tǒng)中的雜散光以及光學(xué)元件表面高頻誤差、瑕疵、灰塵等造成的散射光將造成像面中存在相干噪聲，使得干涉系統(tǒng)的信噪比下降。常用的解決方法是對(duì)入射光源的相干性進(jìn)行調(diào)制，以降低其相干性，進(jìn)而抑制相干噪聲和提高信噪比。本論文

2、中采用了能夠?qū)崟r(shí)控制的動(dòng)態(tài)光學(xué)元件，開展了干涉成像系統(tǒng)中空間光調(diào)制抑制相干噪聲技術(shù)的研究。
　　本論文從統(tǒng)計(jì)光學(xué)理論出發(fā)，對(duì)測(cè)試光路中光場(chǎng)傳輸及像面光場(chǎng)采集進(jìn)行了數(shù)理分析研究。研究了光場(chǎng)經(jīng)過局部相位調(diào)制情況下其相干性的變化及其對(duì)于成像系統(tǒng)噪聲的影響。理論分析表明，當(dāng)調(diào)制屏上圖案相位起伏標(biāo)準(zhǔn)差(σs)一定時(shí)，系統(tǒng)信噪比隨著調(diào)制頻率的增加先是增加然后在下降;當(dāng)調(diào)制頻率不變時(shí)，系統(tǒng)信噪比隨著調(diào)制場(chǎng)相位起伏標(biāo)準(zhǔn)差的增大而增大。為驗(yàn)證理論分