雙光子聚合加工系統(tǒng)的誤差辨識及對體元位姿的影響.pdf

1、雙光子聚合加工技術(shù)可實現(xiàn)大面積超材料快速結(jié)構(gòu)化加工，是微納器件行之有效的加工方式之一。近年來在航空電子、醫(yī)療器械、傳感器技術(shù)等領域受到了廣泛的關(guān)注。雙光子聚合加工系統(tǒng)中存在的誤差是影響加工精度的重要因素之一。系統(tǒng)誤差的辨識以及系統(tǒng)誤差對體元位姿影響關(guān)系的分析，是實現(xiàn)誤差補償和校正體元位姿，提高加工精度的重要前提。
　　本文基于課題組搭建的雙光子聚合加工系統(tǒng)，分析加工系統(tǒng)的各個組成部分的誤差項及系統(tǒng)誤差的主要來源，可知系統(tǒng)的幾何誤差

2、對加工精度的影響最大。為了實現(xiàn)系統(tǒng)誤差的辨識并建立系統(tǒng)誤差對體元位姿的影響分析關(guān)系，本文主要研究內(nèi)容為：
　?。?）運用多體系統(tǒng)理論，建立從主光線焦點到樣件材料內(nèi)部體元預期位置的運動鏈模型，其中將系統(tǒng)主要組成部分簡化，對理想情況下與有誤差情況下的兩相鄰體之間特征變換矩陣變化情況作出分析，進一步演變到各個特征體間，最后建立了雙光子聚合加工系統(tǒng)的幾何誤差模型。
　?。?）搭建實驗測量系統(tǒng)并測量微動臺的幾何誤差，包括定位誤差與直線