薄膜生長初期過程的計算機(jī)模擬.pdf

1、代號???．她墜??．．分類號???一9 螋???學(xué)號??。墅；翌嬲密級?一一。一?全蔓一一面簧I 電手料毅競警碩士學(xué)位論文題( 中、英文) 目????煎朦蜷翅甥過程的鹽復(fù)機(jī)模擬?????．一?￡唧! 避r 點(diǎn)i 啦川趔蚋．o ￡韭拿—王b i 粵．毋j 碑．1 西! 婢! j 鼬奠l h - ．．作者姓名 呂躍鳳 指導(dǎo)教師姓名、職務(wù) 李德昌教授學(xué)科門類 理學(xué)學(xué)科、專業(yè) 光學(xué)提交論文日期 二o o 六年一月A b s t 強(qiáng)c tA b

2、 s t r a c t1 h em i c m I Ⅱo V e m e n t o fd e p o s i t e dc l u s t e r 姐dt h e m i c r o 咖c t l l r ec v o l u t i o Ⅱo f t l l j nf i l n l h a v e b e e ns t u d i e di n d i l n e n s i o no fa t o m d u s t e ri

3、 n t l l i s p a p e r ．1 1 h e r e 對e s o m ei m p o n 柚t a p p l i c a t i O n s t o d 0 d e 印l y r e S e 鯽’h o n t h e m i g r a t i o n ，c o a c c n r a t i ∞卸dn u c l e a t i o n o f a t o m c l u s t c r ，t 0 o p t

4、 i n l i z e t h c d e p o s i t i o n p r O c e S s ， t 0 e n h 鋤c e t I l ec h a f a c t c r i s t i c s o f t I l i n f i l m 。1 1 l e t l l i n f i l m g m w t hp r o c e s s i s s i m l l l a t e d b yM 0 Ⅱt e c a J

5、 l o 似C ) m e 也o d ．B yV 盯y i n gt h c s u r f a c c m o I p h o l o g yo f a 蚰b s t r a t c ，t h ee f f e c to fs u b s 仃a t ep r c - 仃c a 恤l c n to n姍d ∞t i o n i s e x P l o 陀d i n t h i s p a p e r ．A s e t o f s o u

6、 n da r i t h m e t i c a r ei n t m d l l c e db yc h o o s i n gp r o p e rp o t e 塒a lf I l 】Ⅱc t i o n ，H a m i l t o n i 螄a n dp h y s i c a lp a m m e t e r s ，t h ed i f l h s i o np r o b a b i l i t i e s o f a

7、c I 西cp a n i c l c so f a l li n s t a b i l i t y d u s t e r s o n t h es u r f a c ea r et a k e n a o c o u mo f - T h c m o d c l s i m u l a t e s t b em i 口0 咖l c t u r c c v o l u t i o no f t h i n f i l m i n

8、t l l e i l l i t i a ls t a g e sO fd e p o s i t i o np l D c c 鴿s u c c e s s f I I l l y ．o nt h e r e s I l l 峨t h ep a n i d c 鋤o u n t o fa c e n a i n c l u s t c fi sp r o p o s e d ．T h e s 岫o f c l u s t c r S

9、d m p p c d ，t h e a v e m g cs i z co fc l u s t e r 粕dt h e 吖眥g e s t 印o fa I 咖i c d i f f u s i o n 佗l a t c d t o t e m p c r a t u r c a n dt h e 岫e O f g r o w t l l 盯eo b t a i n e d ．A n a l y z i Ⅱg t l l e ∞s u

10、 l t sb y u s i n gt h e M 0 1 c c u l 盯D y n a l I l i c sm e t h o d ，t h cc o n 。e p to fc I i t i c a ln u d 印s 神d t l l e i n t e 糟c t i V c 砌g c a r c w e U p r o v e d i n t h e r e s l l l t s ．1 1 l e r e 如n s o

11、 fs i m u l a t i 蚴i n d i c a t c t h a tt h cs t a yt i m e ' d i f f u s i o ns l e p 卸d n u d e a t i o nd e n s i t yd c p c n d 蚰蛐r f a c e m o I p h o l o g ) r ，l h eo I i g i l l a l c n e r g yo f s i n kp

12、a n i c l e s ，a d s o r p t i o nc n c r g y 柚d ∞b s 眈t et e m p 啪t u r e ．W 池t h et c m p e f a t ei n c r c a S i n g ，t h et o t a lo fd i f f u s i o ns t e p sb e c o m e s b i 譬T h c n 砌b c r o f a t o m - c l u s

13、 t c 培i n c r e a s c s t h e nd e 盯e 醛e s ．A n dt l l es i z co fa t 鋤．c l u S t e 巧婦a ∞sd u r i n gm es 鋤ed c p o s i t i n gt i m e ．I nt h cd e p o s i t i l l gp r o c c s s ，d e p o s j t e d d u s t c r sp r i m 枷

14、l yn u c l e a t c 鋤d 掣O wb e f o nt h en 岫b e ro fa t 咖d u s t e 娼r c a c h c dt h e c r i 讎a ls i z e ．D e p o s i t e dc l u s t e r sd on o tf i l l i n t l l em a z e u n t i lt l l e ∞n t i n u o u sf j l ms h a p