高靈敏度蝶翼式微陀螺結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與加工工藝.pdf

1、微陀螺的廣泛應(yīng)用已經(jīng)給現(xiàn)代生活帶來(lái)了重大變革，但如何得到高性能的微陀螺一直是研究的熱點(diǎn)和難點(diǎn)。本文以本教研室研制的蝶翼式微陀螺為研究對(duì)象，提出了一種新的提高靈敏度的方法，主要包括：
　　1．介紹了課題的研究背景，對(duì)國(guó)內(nèi)外提高微陀螺靈敏度的常用方法進(jìn)行了調(diào)研，結(jié)合教研室前人的工作，給出了本論文的研究意義。
　　2．以蝶翼式微陀螺為研究對(duì)象，首次運(yùn)用了六邊形截面斜梁，并簡(jiǎn)單闡述了陀螺的總體結(jié)構(gòu)和工作原理。深入分析了六邊形截面斜梁

2、的力學(xué)特性，研究了斜梁結(jié)構(gòu)尺寸與蝶翼式微陀螺兩個(gè)工作模態(tài)頻率差值，以及工作模態(tài)頻率差值與陀螺靈敏度之間的關(guān)系，提出了通過(guò)合理設(shè)計(jì)斜梁的尺寸參數(shù)來(lái)提高靈敏度的方法。
　　3．通過(guò)理論分析，得到了不同斜梁尺寸對(duì)蝶翼式微陀螺兩個(gè)工作模態(tài)頻率差值的影響規(guī)律，并最終設(shè)計(jì)了樣機(jī)的尺寸。描述了蝶翼式微陀螺樣機(jī)加工過(guò)程中的重要工藝，包括全預(yù)埋掩膜工藝和精密激光修形。
　　4．研究了不同誤差對(duì)蝶翼式微陀螺兩個(gè)工作模態(tài)頻率差值的影響，主要包括厚