4.3英寸碳納米管場發(fā)射平面光源器件技術研究

1、中山大學碩士學位論文4.3英寸碳納米管場發(fā)射平面光源器件技術研究姓名：尹希原申請學位級別：碩士專業(yè)：微電子學與固體電子學指導教師：鄧少芝20100608摘耍S t u d y o f 4 ．3i n c hC N T F i e l d E m i s s i o nF l a tP a n e l L i g h t S o u r c eM a j o r ：M i c r o e l e c t r o n i c sa n dS

2、 o l i d E l e c t r o n i c sN a m e ：X i y u a n Y i nS u p e r v i s o r ：S h a o z h i D e n g ，P r o f e s s o rA b s t r a c tD u e t oi t s e x c e l l e n tf i e l de m i s s i o np r o p e r t i e s ，c a r b o n

3、n a n o t u b e ( c r c r ) h a sb e e nw i d e l yu s e d a sc o l d c a t h o d e o f f i e l d e m i s s i o nd e v i c e s ．F i e l de m i s s i o n f l a tp a n e l l i g h ts o u r c eb a s e d o n c a r b o n n a

4、n o t u b ec o l d c a t h o d e i so n e o f t h e m ．I nt h i sd i s s e r t a t i o n ，w es t u d y o na 4 ．3i n c h f l a tp a n e l f i e l d e m i s s i o n l i g h t s o u r c e b a s e do n C N T c o l d c a t h

5、o d e ．B a s e o n t h ed i o d e d e v i c es t r u c t u r e ，t h ed i s s e r t a t i o nf o c u s e s o n u n i f o r i l lf a b r i c a t i o n o fl a r g e a r e aC N T c o l dc a t h o d ea n dt h e i n t e g r a

6、t i o n a n dp a c k a g i n gt e c h n o l o g i e s o fm i d d l e s i z ef i a tp a n e l l i g h ts o u r c e ．T h e i n n o v a t i o n s a r e s u m m a r i z e d a sf o l l o w s ：1 ．D e v e l o p e d ap r e p a r

7、 a t i o np r o c e s s f o r l a r g e a r e a u n i f o r mC N Tf i l m sc o l dc a t h o d eo ns i l i c o ns u b s t r a t eu s i n gt h e r m a lc h e m i c a lv a p o rd e p o s i t i o nm e t h o d ．T h et u r n —

8、o nf i e l do f t h eC N T f i l m sW a s 2 ．5M V ／m ，a n dt h eo p e r a t i n g f i e l dw a s 3 ．1M V ／m ．T h e f i e l d e m i s s i o nc u r r e n tw a s s t a b l ew i t ha c u r r e n tf l u c t u a t i o n o f l

9、e s st h a n 4 ％a f t e ra g i n g p r o c e s s ，w h i c hi s c o n s i s t e n tw i t hd e s i g ns p e c i f i c a t i o n s ．T h ef i l m s t r u c t u r eo ft h eC N T f i l m sw a sw e l ld e s i g n e di no r d e

10、r t o i m p r o v et h ea d h e s i o nb e t w e e nC N Tf i l m s a n dt h e s u b s t r a t e ．E f f o r t s a r e m a d e b o t h i n t h e s y n t h e s i s p r o c e s s a n dp o s t - t r e a t m e n tm e t h o d s

11、i no r d e rt oi m p r o v e t h ef i e l d e m i s s i o nu n i f o r m i t y ．A f t e rt h el a r g e —c u r r e n tt r e a t m e n t a n d 0 2 t r e a t m e n t ，t h eu n i f o r m i t yi n c r e a s e d f r o m4 2 ％t