平面電機功率驅(qū)動器的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、光刻機是集成電路裝備中最重要、最復(fù)雜的核心關(guān)鍵設(shè)備，其加工芯片的精度決定了芯片的集成度與性能，直接體現(xiàn)了一個國家的制造技術(shù)水平和能力。其中平面電機為核心部件，它要求大推力、高響應(yīng)、高線性度以實現(xiàn)高速精密驅(qū)動，故對驅(qū)動器提出了嚴格的要求。本課題針對光刻加工對平面電機驅(qū)動器的實際需要，提出了一種采用大功率三級管組成的平面電機伺服驅(qū)動器結(jié)構(gòu)，并進行了分析與設(shè)計。
　　 本文先介紹了功率放大電路的特點，并結(jié)合平面電機對驅(qū)動器的要求給出了

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