基于微機(jī)電系統(tǒng)的硅壓力傳感器性能改進(jìn)研究.pdf

1、傳感器技術(shù)是現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)發(fā)展水平的重要標(biāo)志，它與通信技術(shù)、計(jì)算機(jī)技術(shù)構(gòu)成現(xiàn)代信息產(chǎn)業(yè)的三大支柱。隨著現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)，特別是微電子技術(shù)和信息產(chǎn)業(yè)技術(shù)的發(fā)展，以及電腦的普及，傳感器在新的技術(shù)革命中的地位和作用將更加突出，一股競(jìng)相開發(fā)和應(yīng)用傳感器的熱潮已在世界范圍內(nèi)掀起。在各種傳感器中，基于MEMS（Micro Electronic Mechanism System）的硅壓力傳感器是應(yīng)用最為廣泛的一種。我國(guó)的傳感器產(chǎn)業(yè)與世界存在巨大差距，目前的

2、傳感器技術(shù)難以完全滿足國(guó)家需求，傳感器技術(shù)面臨技術(shù)落后瓶頸，需新的突破。
　　本文首先對(duì)硅壓阻式壓力傳感器的工作原理進(jìn)行分析，接著從傳感器的襯底制備，壓力傳感器敏感管芯制備的擴(kuò)散，氧化，光刻入手，選擇合適的工藝與工藝參數(shù)，以期減少傳感器的非線性，降低其溫漂與零漂,改善其性能。
　　通過對(duì)方形、矩形和圓形膜片的最大應(yīng)力、撓度以及膜片長(zhǎng)寬比對(duì)輸出的影響，選擇了方形敏感薄膜；對(duì)于壓敏電阻條的設(shè)計(jì)主要從摻雜類型，摻雜濃度，結(jié)深及壓敏