諧振式微機械壓力傳感器檢測電路研究.pdf

1、華北電力大學碩士學位論文摘要諧振式微機械壓力傳感器是通過檢測其機械諧振器諧振頻率的變化來實現(xiàn)壓力測量，特點是尺寸小，精度高，穩(wěn)定性好，易與數(shù)字電路接口，具有廣闊的應用前景。精確測量是微機械壓力傳感器研究的目標，檢測電路的性能優(yōu)劣直接影響整一體器件測量效果，本論文主要針對諧振式微機械壓力傳感器檢測電路展開研究。論文分析了微機械壓力傳感器的結(jié)構(gòu)和工作原理，給出了檢測電路的整體設計方案，并設計了閉環(huán)激勵電路和差分檢測電路，制作了PCB板分析了

2、微機械壓力傳感器同頻干擾因素，并設計了一種雙端非對稱激勵的同頻干擾消除電路分析了微機械壓力傳感器的溫度漂移，給出了溫度補償?shù)姆桨?。上述研究成果為微機械壓力傳感器的進一步工作奠定了基礎。關鍵詞:諧振式微機械壓力傳感器，檢測電路，同頻干擾，溫度補償ABSTRACTAresonantmiero一machinedPressuresensormeasurestheapPliedPressurebydeteetingthechangeofreson

3、antfrequeneyofitsmeehanicalresonator.Thesensor15eharaeterizedbyitsverysmallsize，highaecuraey，exeellentstabilityandeonvenientinterfaeingwithdigitaleleetronies，showingbroadapPlieationProsPeets.Exactmeasurement15thePurPoseo

4、fthemicro一machinedPressuresensordesignandthePerfmanceofthesensor15affeetedbythedeteetioneireuit.Byanalysisthestruetureandprinc‘p‘““f‘hesens，““，ose一‘o州ped”xc“a，‘on“nd“e，ec“on“‘rcu‘，Wasprop0SedAnovelmeasurewithnonsymm已trie

5、alexeitationtoeliminatetheco一ehannelinterferencewasintrodueedbasedontheanalisisofnosie.Attheendofthethesis，amethodoftemPeratureeomPensatingwasintrodueed.AlloftheabovemethodswillPromotethedeveloPmentofmiero一machinedPressu

6、resensor.ZhaoJinmin(signalandinfmationProcessing)DirectedbyProf.HaoJianhongLiShourongKEYWORDS:resonantmiero一maehinedPressuresensor，deteetioneireuit，eo一channelinterference，temPeraturecolnPensation華北電力大學碩士學位論文3.4.4諧振式微機械壓力

7、傳感器頻率穩(wěn)定性測試...........................……283.5本章小結(jié)........................................................................................……30第四章諧振式微機械壓力傳感器同頻干擾的消除與溫度補償.…，.…，........……314.1諧振式微機械壓力傳感器尚頻干擾的分析與消除............

8、.............……314.1.1集成運算放大器的噪聲及減小噪聲的措施...........................……314.1.2同頻干擾噪聲的建模............................................................……324.1.3同頻干擾的消除...........................................................

9、.........……334.1.3.1雙端對稱差分激勵......................................................……334.1.3.2雙端不對稱激勵...........……、........................................……344.1.4實驗結(jié)果與討論..................................................

10、.................……354.2諧振式微機械壓力傳感器的溫度補償............................................……364.2.1諧振式微機械壓力傳感器溫度特性分析....……:...................……364.2.2諧振式微機械壓力傳感器的溫度補償..................................……374.3本章小結(jié).…，...........

11、........................................................................……39第五章總結(jié).............................……，.....……，...............................................……405.1工作總結(jié).........................................

12、……，........................................……405.2未來工作展望........................................................……，.................……40參考文獻..................................……!.....……，.……、二、.，……，........................