屈曲型微驅動器的設計與分析.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、微驅動器作為MEMS的一個重要分支，近年倍受關注。微驅動器有廣闊的應用前景，可用于RF開關、相控天線等方面。但是目前驅動器存在驅動電壓大、難以實現大位移等問題。
　　 針對目前微驅動器的不足，基于MEMS技術和壓桿穩(wěn)定原理，本課題設計了一種低驅動電壓、小位移變形的屈曲型微驅動器。根據歐拉載荷公式，計算得到臨界載荷為39.4784N；當加載軸向力為39.479N時，產生的最大撓度為4.775mm；基于胡克定律確定了桿件尺寸，微梁長

2、為15mm，寬度為1mm，高度為0.3mm。
　　 對屈曲型微驅動器進行靜力分析。建立撓度曲線方程，并求出撓度表達式，得到了撓度與軸向力、驅動力之間相互關系；基于撓度表達式及靜電力公式，得到撓度與驅動電壓、調節(jié)電壓之間相互關系；通過比較撓度計算和仿真結果，發(fā)現兩者非常接近。根據計算結果得到結論：在滿足撓度設計要求達50μm情況下，屈曲型微驅動器的驅動電壓在2-5V范圍，調節(jié)電壓在1-3V之間，響應時間為10μs，實現了低驅動、快

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