基于時(shí)間差法的光學(xué)共焦式測頭.pdf

1、三坐標(biāo)測量機(jī)作為現(xiàn)代大型精密儀器，在空間三維尺寸測量領(lǐng)域已越來越顯示出它的重要性和廣闊的發(fā)展前景。測頭是三坐標(biāo)測量機(jī)的重要部件。它關(guān)系到測量裝置的測量精度、工作效率和測量功能。按測量方式測頭可以分為接觸式和非接觸式。目前非接觸式激光測頭具有效率高、響應(yīng)快、沒有摩擦、可測量軟質(zhì)表面等優(yōu)點(diǎn)，已經(jīng)成為測頭發(fā)展的主流。人們希望有更好的、新型的、簡單易用的非接觸測頭可以滿足形貌質(zhì)量控制的要求。本文針對非接觸測頭這一領(lǐng)域開展了深入研究，以滿足這方面

2、需求。這種測頭的測量精度高，可達(dá)亞微米級，形成的光斑小，可用于微機(jī)械系統(tǒng)的檢測。 本文提出了一種全新的測量振動(dòng)透鏡位移量的方法，這種測量方法不僅回避了直接測量振動(dòng)透鏡位移量，而且省去了參考光路的使用，應(yīng)用A/D采樣和單片機(jī)技術(shù)，通過測量一路光路的峰值信號(hào)與振動(dòng)零位的時(shí)間間隔來間接的得到被測物體相對于測頭零點(diǎn)的位移量大小。使用這種方法進(jìn)行測量，不但優(yōu)化了結(jié)構(gòu)，降低了成本，而且使應(yīng)用更方便，更能有效地服務(wù)于現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域。