含柔性放大臂雙壓電疊堆驅(qū)動(dòng)噴射閥研究.pdf

1、點(diǎn)膠是一項(xiàng)重要的微電子封裝工藝，而噴射式點(diǎn)膠是目前發(fā)展最為迅速的點(diǎn)膠方式，具有膠滴一致性好、生產(chǎn)效率高以及適用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)。為了實(shí)現(xiàn)高頻率、高性能的微量噴射點(diǎn)膠，本文設(shè)計(jì)了一種新型的含柔性放大臂雙壓電疊堆驅(qū)動(dòng)的噴射點(diǎn)膠閥。
　　本文首先介紹了點(diǎn)膠技術(shù)的發(fā)展現(xiàn)狀以及壓電疊堆的相關(guān)知識(shí);接著，根據(jù)機(jī)械碰撞式噴射點(diǎn)膠技術(shù)的原理，提出了含柔性放大臂雙壓電疊堆驅(qū)動(dòng)噴射閥方案，完成了噴射閥結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，并對(duì)微位移放大機(jī)構(gòu)和流體相關(guān)結(jié)構(gòu)進(jìn)行了詳細(xì)的

2、設(shè)計(jì)和分析;然后，為了研究噴射閥噴針的動(dòng)態(tài)特性，建立了噴射閥的數(shù)學(xué)模型，利用Matlab/Simulink進(jìn)行了仿真分析，得到了噴針的位移曲線和速度曲線，并分析了驅(qū)動(dòng)電壓、鉸鏈剛度、噴針質(zhì)量等關(guān)鍵參數(shù)對(duì)噴射閥噴針動(dòng)態(tài)性能的影響;最后，利用噴射閥試制機(jī)搭建了點(diǎn)膠實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)，利用該實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)完成了噴射閥噴針動(dòng)態(tài)特性、點(diǎn)膠圖案、膠滴噴射過(guò)程、膠滴尺寸影響規(guī)律、膠滴一致性等方面的實(shí)驗(yàn)研究。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，所設(shè)計(jì)的含柔性放大臂雙壓電疊堆驅(qū)動(dòng)噴射閥可以實(shí)