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1、大連理工大學(xué)碩士學(xué)位論文串聯(lián)臂壓電微電機(jī)及其驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的研究姓名:梁克平申請學(xué)位級別:碩士專業(yè):模式識(shí)別與智能系統(tǒng)指導(dǎo)教師:楊敬涵邵培革2001.3.1人連埋工夫?qū)W碩上學(xué)位論文摘要AbstractThepiezoelectricmicromotoriSoneofthemostpotentialmicroactuatorsinthemicroelectromechanicalsystem(MEMS)Therotatorisdirectlyd
2、rivenbythefrictionalforceonthecontactingsurfaceofrotatorandstator,whichisduetotheellipticalmovementoftheparticlesonthesurfaceofstatorItisoftheadvantagesoflowerspeed,largertorqueandnoelectromagneticdisturbanceInthisthesis
3、,anewtypeofpiezoelectricmicromotordrivenbyseriespiezoelectricbimorphsispresentedinordertoincreaseoutputtorqueThedrivingmechanismisthattwopiezoelectricbimorphscomposeaseriesarmtoamplifydisplacementandrealizeellipticalmove
4、mentofarmendinlargerangeBasedonthedrivingmechanism,thekinematicmodelofseriesarmisbuilt,thedrivingmethodisdeterminedandthedrivingsystemisdesignedandmadeAbasicexperimentofdrivingseriesarmtomoveismadebymeansofthedrivingsyst
5、emThefeasibilityofthedrivingmechanismisvalidatedinthereasultTheellipticalmovementofthemotorstatorisobservedintheexperimentforthefirsttimeBasedonanalysisandexperiment,anprimarystructureofthemicromotordrivenbyseriesarmsisb
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