二次曲面鏡的朗奇法檢驗(yàn)靈敏度及精度分析研究.pdf

1、本文首先介紹了二次曲面鏡的朗奇檢驗(yàn)法的發(fā)展歷史及研究現(xiàn)狀、朗奇檢驗(yàn)的幾何和物理原理，其次還介紹了朗奇光柵制作原理及朗奇檢驗(yàn)靈敏度的傳統(tǒng)分析方法和定義等相關(guān)理論。針對(duì)二次曲面鏡的朗奇檢驗(yàn)方法的靈敏度,本文分析提出了一種新的評(píng)估方法，其物理意義為一個(gè)朗奇光柵周期所能檢測到的鏡面偏差大小能力。即如果給定的光柵能夠檢測到的鏡面偏差斜率越小，說明其檢測能力越大，其檢測靈敏度也越大。這種評(píng)估方法通過對(duì)研究光柵周期大小與鏡面偏差的關(guān)系，基于朗奇檢驗(yàn)幾

2、何原理并使用光線追跡法推導(dǎo)出朗奇檢驗(yàn)靈敏度公式，找出了制約檢驗(yàn)靈敏度的因素和參數(shù)。然后分別針對(duì)拋物面鏡，雙曲面鏡和橢球面鏡，結(jié)合設(shè)計(jì)參數(shù)給出計(jì)算數(shù)據(jù)。最后得出關(guān)系曲線顯示朗奇檢驗(yàn)靈敏度分別隨著光柵周期間隔,半通光口徑的變大而減小的一般性規(guī)律。
　　 本文針對(duì)朗奇檢驗(yàn)精度做了進(jìn)一步研究，目的在于定量分析特定參數(shù)下一個(gè)朗奇光柵周期所能檢測到的鏡面偏差大小數(shù)值。同樣，針對(duì)各種二次曲面鏡進(jìn)行檢驗(yàn)精度數(shù)值分析并得出結(jié)論，進(jìn)一步驗(yàn)證新方法定