真空吸附方式對(duì)KDP晶體加工精度的影響.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、 本文在了解國內(nèi)外大口徑KDP(Potassinm Dihydengen Phosphate)晶體超精密加工現(xiàn)狀的基礎(chǔ)上，分析了真空吸附方式對(duì)KDP晶體加工精度的影響；用有限元方法計(jì)算了真空吸附方式對(duì)KDP晶體加工精度的影響；對(duì)本文的一些結(jié)論設(shè)計(jì)試驗(yàn)進(jìn)行驗(yàn)證；對(duì)加工KDP晶體的真空吸盤的設(shè)計(jì)提出了一些建議。 首先分析了真空吸盤自身的面形精度對(duì)KDP晶體加工精度的影響，提高真空吸盤自身的面形精度對(duì)提高KDP晶體加工精度有很

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