一種感應單軸的硅微機械振動陀螺儀的設計與制作.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、論文首先對微光機電系統(tǒng)(Micro Opto Electro Mechanical Systems)的研究歷史和發(fā)展現(xiàn)狀作了簡單的綜述,介紹了角速度傳感器--陀螺的發(fā)展歷史以及主要產(chǎn)品、種類,并對微機械陀螺儀領域的重要研究成果進行了簡單的回顧總結.其次,討論了在該課題研究實踐中涉及到的主要微機械加工技術,包括KOH對硅的腐蝕技術、硅-玻璃靜電鍵合技術以及DRIE(深反應離子刻蝕)技術,總結了通過反復實驗獲得的一些解決問題的經(jīng)驗、方法.而

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