波前檢測(cè)技術(shù)的研究.pdf

1、徑向剪切干涉技術(shù)是將待測(cè)波面由徑向剪切干涉儀分別放大和縮小成不同倍數(shù)的兩波面后再相互疊加的區(qū)域產(chǎn)生干涉條紋，然后通過(guò)干涉條紋對(duì)波前的相位分布進(jìn)行檢測(cè)的一種干涉計(jì)量技術(shù)。徑向剪切干涉技術(shù)在系統(tǒng)光路中不需要設(shè)置專門的參考光，不僅具有高精度，同時(shí)還具有對(duì)環(huán)境擾動(dòng)和機(jī)械振動(dòng)不敏感的優(yōu)點(diǎn)。
　　本文構(gòu)建了一種簡(jiǎn)單、緊湊、具有較高測(cè)量精度和波面復(fù)原能力、適用于動(dòng)、靜態(tài)波面檢測(cè)的徑向剪切干涉系統(tǒng)，該系統(tǒng)可以從單幅干涉圖同時(shí)重構(gòu)波面位相分布和波面

2、振幅分布，適用于激光波面檢測(cè)。
　　本文主要的研究工作有:
　　1.論述波前畸變檢測(cè)的重要意義，并通過(guò)激光波面的特點(diǎn)及當(dāng)前國(guó)內(nèi)外波前檢測(cè)技術(shù)的分析，在分析幾種徑向剪切干涉儀基礎(chǔ)上，對(duì)徑向剪切干涉系統(tǒng)光路進(jìn)行了改進(jìn)，搭建了一臺(tái)用于動(dòng)、靜態(tài)波前畸變檢測(cè)的徑向剪切干涉儀，采集到了較好的干涉圖樣。并對(duì)光路快速調(diào)整提出了一些好的方法。
　　2.在對(duì)徑向剪切波面的特征進(jìn)行分析的基礎(chǔ)上，闡述了波面迭代重構(gòu)算法的數(shù)學(xué)模型，根據(jù)該數(shù)學(xué)模