衍射光學(xué)中的嚴格耦合波分析方法.pdf

1、中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)博士學(xué)位論文衍射光學(xué)中的嚴格耦合波分析方法姓名：陳德偉申請學(xué)位級別：博士專業(yè)：光學(xué)指導(dǎo)教師：李永平20040501中國科學(xué)技術(shù)人學(xué)博十學(xué)位論文摘要比同時增加或者同時減小時可以允許人約10％的誤著如果。i空比不是同時增加和同時減小，此時只能允許4％的誤籌。4、采用兩種思路設(shè)計了一種用丁光束采樣的變周期光柵，先從一維矩形光柵的衍射特性與采樣光柵的特性對比開始。將一維矩形光柵結(jié)構(gòu)作一定的改變設(shè)計出采樣光柵，發(fā)現(xiàn)采樣光柵就是菲涅

2、爾波帶片的一離軸區(qū)域，用波帶片的環(huán)帶公式得到與川光柵公式計算相同的結(jié)論。最Jl亓用RCWA方法對其衍射特性進行了詳細分析，并對要求嚴格的采樣光柵進行了刻蝕深度的寬容度分析。5、以RCWA方法為主要計算方法構(gòu)建了一套運行yMatlab平臺上的衍射光柵分析軟什。該軟件簡單易_|=Ij它將各種光柵結(jié)構(gòu)分為不同的兒人類別，使用者只需要在相麻的光柵類別中輸入自己的參數(shù)，然斤簡單的點擊兒個按鈕就能得到分析結(jié)果。該軟件界面友好，光柵模型、光柵參數(shù)平【