光生等離子體效應(yīng)及其應(yīng)用的研究.pdf

1、半導(dǎo)體材料中光生等離子體效應(yīng)具有折射率系數(shù)大、響應(yīng)速度快等優(yōu)勢(shì)，國(guó)內(nèi)外已有大量基于該效應(yīng)設(shè)計(jì)和制作全光開(kāi)關(guān)、調(diào)制器等控制光波及微波傳輸特性的器件的報(bào)道。深入研究半導(dǎo)體材料中光生等離子體效應(yīng)對(duì)設(shè)計(jì)新型光控型器件以及改良現(xiàn)有光控型器件具有重要的指導(dǎo)意義。
　　將光生等離子體效應(yīng)與菲涅爾波帶板(或稱菲涅爾區(qū)板)衍射天線的概念結(jié)合起來(lái)，設(shè)計(jì)了基于光生等離子體效應(yīng)的菲涅爾波帶板天線。本文中介紹的光生等離子體菲涅爾波帶板是這種新型天線的核心器

2、件。
　　首先，詳細(xì)介紹了光生等離子體效應(yīng)在光開(kāi)關(guān)和光控毫米波天線領(lǐng)域的應(yīng)用。然后由光照射半導(dǎo)體材料基片的模型，推導(dǎo)出了在穩(wěn)態(tài)光照射下硅片中光生等離子體濃度的一維分布表達(dá)式。分析了影響硅片中光生等離子體濃度分布的幾種因素。此外還分析了瞬態(tài)光照射下硅片中的等離子體濃度分布特點(diǎn)。
　　其次，設(shè)計(jì)了一種工作在94GHz的毫米波菲涅爾波帶板，通過(guò)對(duì)光學(xué)中傳統(tǒng)的菲涅爾波帶板公式的分析和推導(dǎo)得到了波帶板的環(huán)帶半徑公式。分析了紅外光注入高