紅外三波段薄膜的研究與制備.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、隨著紅外光通信技術(shù)的發(fā)展，光學(xué)薄膜在提升光學(xué)器件性能方面扮演著越來越重的作用。本文主要研制以藍(lán)寶石為基底，實(shí)現(xiàn)在1.064μm和3～5μm透射、1.2～2.8μm反射的紅外濾光膜。同時(shí)對薄膜材料的光學(xué)性能進(jìn)行研究和分析，根據(jù)薄膜設(shè)計(jì)理論，借助TFC膜系軟件進(jìn)行膜系設(shè)計(jì)。通過對初始膜系膜層厚度的優(yōu)化，獲得了較為理想的膜系結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)方案。
　　本課題采用電子束真空蒸發(fā)和離子輔助沉積技術(shù)制備薄膜。對在鍍膜過程中影響膜層性能的工藝因素進(jìn)行了

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