2023年全國(guó)碩士研究生考試考研英語(yǔ)一試題真題（含答案詳解+作文范文）_第1頁(yè)
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1、復(fù)旦大學(xué)碩士學(xué)位論文等離子體輔助沉積含氦鈦膜的研究姓名：金欽華申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：碩士專(zhuān)業(yè)：粒子物理與原子核物理指導(dǎo)教師：周筑穎20030508StudyOilMethodsofPlasmaAidedFilmDepositionfbrHeliumChargedTitaniumFilmsPreparingAbstractWhenresearchersstudythebehaviorofheliumatomsandhelitmabubblesin

2、metals，themateria矗areusuallychargedwithheliumbyionimplantation，whichalwaysproducesdamageintometals，andtheheliumdistributeslocallyandunevenlyinthebodyInthiswork，twomethodsofplasmaaidedfilmdepositionforheliumchargedtitaniu

3、mfilmspreparingwerestudied，Oneisthetitaniumfilmpulsedlaserdeposition(PLD)inallelectroncyclotronresonance(ECR)heliumplasmaandtheotherisheliumincorporatedmegnetronsputteringdepositionoftitaniumfilmBothintroducedheliumintod

4、uringfilmpreparing，andtheamountintroducedincarlbeadjustedbyvaryingthefilmdepositionparametersAnalysisresultsshowthatthemechanismforheliumintroducinginbothcasesisenergeticheliumspeciesimplantation，withheliumionsdominating

5、inthefirstmethodandheliumatomsplayingtheroleintheotherOnecanrealizetheheliumionssubthresholdimplantationwiththefirstmethodbychoosingsmtablesubstratebiasvoltage。Thesamplescharacteristics，suchassurfacemorphologyandmicrostr

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