變曲率光柵的成像特性研究及相關測試技術.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、中國科學技術大學博士學位論文變曲率光柵的成像特性研究及相關測試技術姓名:劉斌申請學位級別:博士專業(yè):核技術及應用指導教師:傅紹軍王秋平20060401中國科學技術大學博士學位論文摘要并給出了由此帶來的成像性能變化。其后,提出了消像差壓彎光柵單色器概念,并進行了數(shù)值模擬計算。最后,對壓彎光柵線密度進行了實驗測試工作,實驗結果證實了變曲率或壓彎光柵的線密度變化與理論預測相符,為相關系統(tǒng)的應用奠定了基礎。二、長程面形儀光柵刻線密度測試系統(tǒng)的研

2、究2004年初,合肥國家同步輻射實驗室(NSRL)和美國布克海文國家實驗室(BNL)展開合作,作者參加了相關的建設工作,于2005年5月建成了一臺長程面形輪廓測量儀。在此基礎上,搭建了長程面形儀光柵線密度的測試裝置,給出了LTP測試變間距(VLS)光柵和凹面光柵的一般表達式,并進行了較為系統(tǒng)的誤差分析。當用于測試非平面光柵時,發(fā)現(xiàn)測試精度受光柵放置誤差(離軸誤差)的影響比較大。不同于衍射法測試非平面光柵時,光柵面形與離軸誤差互相耦合的現(xiàn)

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